| 電鋳サービスでは樹脂マスターや金属マスターに電鋳処理を行い、そのレプリカを製作致します。パターン形状によっては1回反転だけでなく、2回反転、3回反転とレプリカの製作が可能です。 マスタ上の隣接するパターンの間が10nm以下の狭小エリアへもNiを析出可能ですので、高精度の転写が可能です。 |
高精度電鋳で１０nm以下の隙間へもNi析出が可能です
Ni析出部分は上記写真の下部です（上部がマスタ）。断面拡大 |
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| 金型利用事例 |
| 光学部品金型、ナノインプリント金型、バイオチップ金型、マイクロチップ金型など |
| 特徴 |
１つのマスタから数多くの電鋳品の製作が可能
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| マスタ製作費用が非常に高額な為コストメリット大 |
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厚みのある電鋳品の製作が可能
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| 通常スタンパの300um程度だけでなく、数十mmまで可能 |
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10nm以下の狭小エリアや高アスペクト比マスタにもNi析出可能
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| マスタの製作度合いに依存 |
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ナノレベルの超精密転写
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| Si基板(Ra:0.349nm)をマスタ → 300umNi電鋳品(Ra:0.406nm) |
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大面積に対応（平面タイプφ600mm）
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| さらに大きなサイズが必要な場合には要相談 |
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反りがほとんどない
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| ナノパターンでは反った電鋳品での樹脂転写に問題 |
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ロール電鋳品の提供
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| φ253mm、φ110mm、φ50mmのものを提供 |
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