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Application Sample
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平面電鋳品の製作事例をご紹介いたします。 |
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無電解Niでの切削マスタからのNi電鋳スタンパ製作例 |
マスタ素材 |
無電解Ni |
マスタ外形 |
320mm*300mm、厚み30mm |
電鋳厚み |
300um |
パターン |
頂角90度 高さ7umのV溝 |
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φ550nm、高さ250nmドット |
【ナノインプリントした樹脂からのNi電鋳スタンパ製作例】
1.マスタ金型(15mm角)
2.樹脂(φ200mm)へのステップ&リピート転写(電鋳マスタ)
3.電鋳スタンパ製作 |
マスタ素材 |
ポリカーボネート |
マスタ外形 |
φ200mm、厚み5mm |
電鋳厚み |
300um |
パターン |
左記内には以下の6つのパターンが含まれています。
【凸状ライン&スペース】
・幅330nm、高さ250nm ピッチ1.0um
・幅250nm、高さ250nm ピッチ1.0um
・幅550nm、高さ250nm ピッチ2.0um
【凸状円柱】
・φ1um、高さ250nm ピッチ2um
・φ550nm、高さ250nm ピッチ1.5um
・φ350nm、高さ250nm ピッチ1.4um |
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