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SPUTTERING(Thin film coating services) |
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SPUTTERING |
スパッタリングは蒸着では難しい均一性が高く緻密な膜を成膜することが可能です。スパッタリング加工は通常ではガラスやSiウェーハへ成膜することが多いです。しかしながら弊社ではワークに熱がかからない方式の採用でゲート付の樹脂成形品や立体成形品、薄い樹脂フィルムや樹脂シートへも成膜が可能です。また最大長さ177インチ(4496mm)、幅35インチ(889mm)の大型フィルムや大型シートへの成膜可能です。
また回路や電極、バイオセンサやヒータなどのパターン形状をスパッタリングにより形成することができます。
さらにパイプや管などのロール形状品、筒形状品、棒形状品の外周部へのスパッタリングも可能です。Ti-Alなどの特注ターゲットを準備することにより合金成膜も可能です。ITOフィルム（透明導電膜）やCu合金膜は電磁波シールド、EMC対策などでも利用されております。
1個や小ロットの試作から量産（12インチサイズ程度のワークであれば月産1〜2万枚の生産能力）まで色々なお客様のニーズにお応えできます。スパッタリング加工は通常は高価な加工手法で高級品への適用が常識ですが、弊社では本HPで紹介しておりますようにスパッタリングの適用範囲を拡大して安価にご利用いただいております。リーズナブルな価格でご提案させていただいておりますが、もしご予算に合わなかった場合にはご相談もさせていただけます。
他のスパッタメーカー様では無理そうなもの、蒸着処理でお悩みの成形加工業者様も大歓迎致します。スパッタリング加工、薄膜加工、成膜受託加工の価格や納期でお困りの方は是非一度ご相談下さいませ。 |
| OVERVIEW |
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About Sputtering
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| スパッタリングとは乾式メッキ方式で真空釜の中で成膜処理を行います。蒸着処理と似ていますが蒸着よりも膜厚を均一に、膜を緻密にすることができます。 |
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Advantage
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| 若狭電機産業でのスパッタリングの特徴についてご紹介いたします。 |
| Detail |
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Capability
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仕様概要を確認いただけます。
Method, Targets(Sputtering Film), Temperature In Processing, Substrate,
Uniformity, 1バッチ処理量, 月産処理量, 量産事例 |
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| APPLICATION EXAMPLE |
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Plastic Sheet
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| 熱のかからない方式を採用しているのでPET,PENなどの薄い樹脂フィルムへも成膜可能です。長さ177インチ(4496mm)、幅35インチ(889mm)の大型フィルムへの成膜も可能です。 |
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EMI EMC Shielding
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| 電磁波シールド膜での用途での成膜も可能です。弊社では成形品に成膜が可能です。 |
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Plastic Parts
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| 回り込み効果が比較的大きい成膜方式を採用しているので、三次元的な樹脂成形品などの側面や立ち上がり部にも成膜することができます。 |
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Tube Shaped Item
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| パイプや管などのロール形状品の外周部へのスパッタリングも可能です。膜厚ムラをコントロールすることができるので均一な成膜が可能です。 |
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Patterned Products
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| 回路や電極、ヒーターやバイオセンサー、電気化学センサなどのパターン形状をスパッタリングにより形成することができます。当社にてパターニングマスクも準備することができます。 |
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Urethane Foam Ceramic
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| セラミックスやウレタンフォームへのスパッタなど色々な素材へのスパッタもお引き受けしております。 |
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Electroforming(EF)
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| エレクトロフォーミング技術は古くからある浴式電気めっき法です。しかしながらCD,DVDのスターンパー金型など微細なパターンを持つ金型としてよく利用されています。当社では導光板、拡散板などの光学フィルムを成形するための光学関連の金型（スタンパー）を中心に幅広い分野の電鋳製品を製作しております。樹脂マスターからのNi電鋳品製作や金属マスターからのNi電鋳品製作、またNi電鋳品をマスターとしてさらに1回反転〜3回反転電鋳品などのレプリカ製作も行っております。さらにロール電鋳品製作も行っております。 |
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About Electroforming
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| 電鋳（エレクトロフォーミング）とは電気めっき法でマスター（母型）に所要の厚さの金属層を析出させ金属成形品を作り出す方法です。 |
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Application Sample
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平面電鋳品の製作事例をご紹介いたします。
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Advantage
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| 当社での電鋳の特徴についてご紹介いたします。 |
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Ultra Smooth Ni Plate (Mirror)
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| ナノインプリント時の裏面形成や薄膜観測に利用されているNi鏡面板です。Ni鏡面板は日本国外へも販売致します。 |
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Capability
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| 当社で対応可能なマスタ素材やスペックについてご紹介いたします。 |
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Tube
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| ロール電鋳金型の製作が可能です。本品は電鋳処理後に既にロール形状になっており、従来薄い平面電鋳品を製作してからロール形状にしており諸問題を解決しました。 |
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Ultraprecision Mold Insert
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| 超精密切削加工にて非常に面粗度がよく、ファインピッチな金型を製作することが可能です。面粗度はRaで1〜2nm程度、Pvでも10〜20nm程度のものが実現可能です。単純なV溝、シリンドリカル形状だけでなく、四角錐、三角錐などの形状も加工可能です。ピッチズレを起こさず、大面積を加工することが可能です。 |
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Example (Micro optics)
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| 超精密微細加工金型の製作事例です。 |
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| Copyright 2011 WAKASA ELECTRIC INDUSTRY |
