SPUTTERING(Thin film coating services)-WAKASA ELECTRIC INDUSTRY


SPUTTERING(Thin film coating services)

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No restriction

Plastic Sheet

　熱のかからない方式を採用しているのでPET,PENなどの薄い樹脂フィルムへも成膜可能です。長さ177インチ(4496mm)、幅35インチ(889mm)の大型フィルムへの成膜も可能です。

[Material] PET [Sputtering Film] Aluminum

[Material] PET [Sputtering Film] Ti-Al Alloy

[Material] PET [Sputtering Film] ITO

[Material] Polycarbonate [Sputtering Film] Nickel

[Material] Polyimide [Sputtering Film] Nickel

[Material] Polyimide [Sputtering Film] Chomiumu + Copper


普通に見ると膜厚によらずミラーに見える

蛍光灯にかざすと透過しているのがわかる	蛍光灯にかざしてもほとんど透過しない	蛍光灯にかざしてもまったく透過しない
蛍光灯にかざすと透過の違いがわかる。スパッタではハーフミラー調成膜が可能


Niスパッタでは1000Å以下では光は透過する

[Material] Polycarbonate [Sputtering Film] Aluminum Nickel [Size] 300mm-300mm

明るさ（輝度）が違う。Alの方が白っぽく見える


[Material] Polycarbonate [Sputtering Film] ITO
ITO膜（透明導電膜）は膜厚により色目が変わります。 ITOフィルムやITOパネルはタッチパネル（タッチスクリーンパネル）の透明電極として利用されています。 ITOフィルムはその他は帯電防止フィルム、電磁波遮蔽フィルムなどにも利用されています。


[Material] PET [Sputtering Film] Gold

[Material] Polycarbonate [Sputtering Film] Gold [Size] 210mm-300mm


樹脂フィルム(PET t:0.5mm）へのスパッタリング事例
[FILM] ITO [THICKNESS] 0.03um	[FILM] ITO [THICKNESS] 0.04um	[FILM] ITO [THICKNESS] 0.05um	[FILM] ITO [THICKNESS] 0.06um	[FILM] ITO [THICKNESS] 0.15um
[FILM] ITO [THICKNESS] 0.2um	[FILM] Nickel [THICKNESS] 0.02um	[FILM] Nickel [THICKNESS] 0.05um	[FILM] Nickel [THICKNESS] 0.1um	[FILM] Nickel [THICKNESS] 0.45um
[FILM] Nickel [THICKNESS] 1um	[FILM] Aluminum [THICKNESS] 0.3um	[FILM] Stainless Steel [THICKNESS] 0.05um	[FILM] Chromium-Related	[FILM] Titanium-Related
[FILM] Titanium-Related	[FILM] Multilayer ITO+Ni	[FILM] Copper [THICKNESS] 0.5um	[FILM] Multilayer Chromium+Copper	[FILM] Multilayer Chromium+Copper

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