1.マスタサイズ |
平面電鋳品はφ600mmのステージに入るものが対象となります。 |
2.マスタ素材 |
Conductor |
Nickel, Stailess steel |
Semiconductor |
Silicon、GaAs |
不導体 |
Polycarbonate, Polyimide, Acrylic resin, Resist, UV cured resin |
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3.導電層 |
無電解Ni、スパッタリング、蒸着等で前処理を願います。 |
4.電鋳厚み |
通常のスタンパの300um程度から厚いものや薄いものでも対応可能です。 |
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