| （１） |
乾式でのめっき処理
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乾式メッキ方式でワークが液体につからないので、浸漬処理に不向きなものにめっきが可能です。 |
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| （２） |
温度がかからないので樹脂製品にも成膜可能
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ワークに熱がかからない方式を採用しているので熱に弱い樹脂製品にも成膜可能です。 |
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| （３） |
種々の材料へも成膜可能
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スパッタリング成膜がよく利用されているガラスやSiだけではなく、PC、PI、PET、PEN等の樹脂やセラミックにも成膜可能です。 |
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| （４） |
小型サイズワークへも成膜可能
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0.1インチ1(2.5mm)程度の小さな部品にも成膜可能です。冶具を製作すればさらに小さなものでも可能です。 |
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| （５） |
大型サイズワークへも成膜可能
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長さ177インチ(4496mm)、幅35インチ(889mm)のフレキシブルな大型フィルムや大型シートにも成膜可能です。剛性のあるものでは最大34インチ(864mm)、幅26インチ(660mm)のガラスへの成膜実績もあります。 |
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| （６） |
立体成形品へも成膜可能
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シート状、板状のワークだけでなく、3次元の立体成形品にも成膜可能です。 |
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| （７） |
パターニングスパッタリング、マスキングスパッタリングも可能
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マスキングを行っ状態で成膜することにより部分スパッタリングが可能です。シルク印刷で実現される膜厚な金属層ではなく薄膜の金属層が形成できます。また後加工のエッチング処理が難しいものはこのパターニングスパッタ、マスキングスパッタをお勧め致します。電極やバイオセンサーの製作に利用されています。 |
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| （８） |
ロールスパッタリングも可能
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パイプや管などのロール形状品、筒形状品、棒形状品の外周部へのスパッタリングが可能です。 |
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| （９） |
合金膜の成膜が可能
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Ti-Alなどの特注ターゲットを準備することにより合金成膜も可能です。 |
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| （１０） |
1度に大量ワークが成膜可能
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1バッチで12インチサイズ最大30枚もの成膜が可能です。 |
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| （１１） |
低価格スパッタ処理を実現
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1バッチで大量のワークの処理が可能なのでワーク1個当りの成膜単価を非常に安くすることが可能です。 |
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| （１２） |
1個の試作から量産まで対応可能
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1個の試作からでもお引き受け致します。量産用大型バッチ装置にて成膜するので大量の量産品製作もお引き受け可能です。12インチサイズ程度のワークであれば月産1〜2万枚の生産能力があります。 |
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| （１３） |
試作品質と量産品質が同一
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1個の試作でも量産用大型バッチ装置にて成膜するので、試作での評価結果が、そのまま量産時でも品質は同一となりますので、安心して試作フェーズから量産フェーズまでをご依頼いただけます。
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| （１４） |
短納期
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最短で基板受領当日の成膜作業、即日発送可能です。 |
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